ミリオンガイド　ZGseries

ボンダー

高剛性と微小ころがり抵抗の両立により
偏荷重に強く正確な加圧コントロールを実現。

組立装置

レンズ等の精密部品組立装置ヘッド部に採用。
ミリオンガイド単軸でZ方向位置決め＋θ補正＋エア吸着を実現。

旋回アーム

剛性アップで高速化、タクトタイム短縮を実現。