ミリオンガイド　GNZseries

検査装置

高剛性・低振動により
カメラの整定が早くタクトタイム短縮を実現。

露光装置用精密
Ｚステージ

精度向上により、サブミクロンの位置決めを実現。

プローバー用
Ｚステージ

ガイド剛性アップにより、ステージに偏荷重が加わった際のタワミ低減。