ミリオンガイド GNZseries 2024.06.25 精密直動機器MECHATRONICSF A 用ガイドGNZ Series Z軸ステージ用 特 徴採用事例フランジタイプで昇降ステージに最適なZ軸ガイド 検査装置 高剛性・低振動によりカメラの整定が早くタクトタイム短縮を実現。 露光装置用精密Zステージ 精度向上により、サブミクロンの位置決めを実現。 プローバー用Zステージ ガイド剛性アップにより、ステージに偏荷重が加わった際のタワミ低減。