ミリオンガイド GNZseriesMECHATRONICS精密直動機器F A 用ガイドGNZ Series Z軸ステージ用 特 徴採用事例フランジタイプで昇降ステージに最適なＺ軸ガイド検査装置高剛性・低振動によりカメラの整定が早くタクトタイム短縮を実現。露光装置用精密Ｚステージ精度向上により、サブミクロンの位置決めを実現。プローバー用Ｚステージガイド剛性アップにより、ステージに偏荷重が加わった際のタワミ低減。
