ミリオンガイド ミリオンアクチュエータ精密直動機器MECHATRONICSアクチュエータミリオンアクチュエータ特 徴採用事例ミリオンガイドを搭載した1㎛の剛性、1㎛の送り精度、1㎛の直進性を持つ高精度で高剛性な直動アクチュエータミラー・レンズの微調整アライメントステージのX・Y・θ軸調整カメラのフォーカス